特許
J-GLOBAL ID：200903035696464913
弾性表面波デバイスおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-330559
公開番号（公開出願番号）：特開平9-172341
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 弾性表面波デバイスの特性を劣化させることなく面状電極と上部電極とを電気的に十分に接続することができる。【解決手段】 圧電性基板と、この圧電性基板上に設けられたくし歯状電極と、このくし歯状電極に接続された面状電極と、少なくとも面状電極表面を覆う誘電体層と、平面よりみて面状電極と実質的に同じ面積を有し、かつ面状電極上に配設された上部電極とから構成される弾性表面波デバイスであって、面状電極と上部電極とが誘電体層の破断面にて直接電気的に接続してなる。
請求項（抜粋）：
圧電性基板と、この圧電性基板上に設けられたくし歯状電極と、このくし歯状電極に接続された面状電極と、少なくとも前記面状電極表面を覆う誘電体層と、平面よりみて前記面状電極と実質的に同じ面積を有し、かつ前記面状電極上に配設された上部電極とから構成される弾性表面波デバイスであって、 前記面状電極と前記上部電極とが前記誘電体層の破断面にて直接電気的に接続してなることを特徴とする弾性表面波デバイス。
IPC (4件)：
H03H 9/145
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H03H 3/08
H03H 9/145 D
, H03H 3/08
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
