特許
J-GLOBAL ID：200903035698977713
バルク弾性波フィルタおよび不要な側波通過帯域を除去する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-066389
公開番号（公開出願番号）：特開2005-260964
出願日： 2005年03月09日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】 特に減衰帯域内において、抑制された側波通過帯域を有するバルク弾性波フィルタを提供する。【解決手段】本発明のバルク弾性波(BAW)フィルタ(40)は、薄膜バルク弾性波共振器から製造される。BAWフィルタは、基板(14)、共振器部(11)、および音響ミラー部(12)を含む。BAWフィルタは、正確な通過帯域特性を提供するために、共振器部(11)内に配置された離調要素(31)と、不要な側波通過帯域を抑制するために、音響ミラー部(12)内に配置された追加の離調要素(41)とを、さらに含む。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板(14)を備えるバルク弾性波フィルタであって、
該基板は、
圧電層(19)と、下部電極(20)および上部電極(21)とを含む薄膜共振器(17)を有する、第1の圧電共振器手段セット(16)と、
該第1の圧電共振器手段セットと並んで配置され、該第1の圧電共振器手段セットと同様に、薄膜共振器(17)を有する第2の圧電共振器手段セット(18)と、ここで、該バルク弾性波フィルタの帯域幅(Δf)を決定する少なくとも1つの特異離調層を圧電中間面(Lm)上の位置に提供することによって、基本共振周波数が低周波数側にシフトされ、
該基板(14)と該圧電共振器手段セット(16、18)との間に配置され、低音響インピーダンス(24、26、28、30)および高音響インピーダンス(25、27、29)を変化させる積層(24〜30)と、
を支え、
該薄膜バルク弾性波フィルタは、該第1の圧電共振器手段セット(16)内の少なくとも1つの共振器のために、該圧電中間面(Lm)の下の位置において、少なくとも1つの追加的な特異層が供給されるオーバーモード離調要素(41)を有する、バルク弾性波フィルタ。
IPC (4件)：
H03H9/17
, H03H3/02
, H03H9/54
, H03H9/56
H03H9/17 F
, H03H3/02 Z
, H03H9/54 Z
, H03H9/56 C
5J108AA01
, 5J108AA07
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108JJ01
, 5J108KK01
, 5J108KK02
, 5J108MM11
, 5J108MM14
