特許
J-GLOBAL ID:200903035710873260

種結晶固定装置及び種結晶固定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-062974
公開番号(公開出願番号):特開2006-347867
出願日: 2006年03月08日
公開日(公表日): 2006年12月28日
要約:
【課題】種結晶配置部に対して種結晶表面を均等に圧着する種結晶固定方法及び種結晶固定装置を提供する。【解決手段】反応容器の種結晶配置部に接着剤を介して種結晶を固定するための種結晶固定装置であって、上記種結晶配置部を内部に配置可能なチャンバーと、上記チャンバー内部に配置され、気体の給排気により膨張収縮し、膨張した際に上記種結晶の表面に接して種結晶の全面に均一に圧力をかける可撓性袋体と、を備える種結晶固定装置。【選択図】図1
請求項(抜粋):
反応容器の種結晶配置部に接着剤を介して種結晶を固定するための種結晶固定装置であって、 前記種結晶配置部を内部に配置可能なチャンバーと、 前記チャンバー内部に配置され、気体の給排気により膨張収縮し、膨張した際に前記種結晶の表面に接して種結晶の全面に均一に圧力をかける可撓性袋体と、 を備えることを特徴とする種結晶固定装置。
IPC (2件):
C30B 23/06 ,  C30B 29/36
FI (2件):
C30B23/06 ,  C30B29/36 A
Fターム (11件):
4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077BE08 ,  4G077DA01 ,  4G077DA02 ,  4G077DA19 ,  4G077EA02 ,  4G077EA03 ,  4G077EG03 ,  4G077EG11 ,  4G077SA12
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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