塩化水素の減少した混合物の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-008234
公開番号（公開出願番号）：特開平9-263405
出願日： 1997年01月21日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】多結晶シリコンの製造プロセスにおいて発生する、塩化水素および塩素含有量の減少した水素化塩素化シランまたは原料水素化塩素化シランの二量化物等を、効率良く多結晶シリコンの製造に有用な物質へ変換すること。【解決手段】塩化水素を含む水素化塩素化シランの混合物を、細孔分布曲線において、特定の最大ピークを示す細孔半径(R)を有する活性炭と接触させて、塩化水素と水素化塩素化シランを反応させる。

請求項（抜粋）：

塩化水素を含む水素化塩素化シランの混合物を、水蒸気吸着法によって得られる細孔分布曲線において最大ピークを示す細孔半径(R)が8×10-10〜4×10-9mの細孔径分布特性を有する活性炭と接触させて、該塩化水素と水素化塩素化シランとを反応せしめることを特徴とする、塩化水素の減少した混合物の製造法。

IPC (3件)：

C01B 33/107 , B01J 21/18 , B01J 35/10 301

FI (3件)：

C01B 33/107 Z , B01J 21/18 M , B01J 35/10 301 H

引用特許：

審査官引用 (4件)

特公昭47-028320
ベントガス流中の塩化物の回収法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-042637 出願人：ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション
特公昭41-010326

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引用文献：

審査官引用 (1件)

洗浄廃水の浄化技術

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