特許
J-GLOBAL ID:200903035830062304

圧電共振子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-371171
公開番号(公開出願番号):特開2000-196404
出願日: 1998年12月25日
公開日(公表日): 2000年07月14日
要約:
【要約】【課題】高周波で広帯域のフィルターを構成できるとともに、共振周波数の温度特性の良好な圧電共振子を提供する。【解決手段】振動空間Aを有する基体1と、該基体1表面に形成され、振動空間Aを被覆する支持膜2と、圧電体膜4の両面に電極5、6を形成してなり、振動空間Aに面する支持膜2の位置に配置された振動体3とを具備するとともに、圧電体膜4の共振周波数の温度係数が正であり、支持膜2の共振周波数の温度係数が負である。
請求項(抜粋):
振動空間を有する基体と、該基体表面に形成され前記振動空間を被覆する支持膜と、圧電体膜の両面に電極を形成してなり、かつ前記振動空間に面する前記支持膜の位置に配置された振動体とを具備するとともに、前記圧電体膜の共振周波数の温度係数が正であり、前記支持膜の共振周波数の温度係数が負であることを特徴とする圧電共振子。
IPC (2件):
H03H 9/17 ,  H03H 9/02
FI (3件):
H03H 9/17 F ,  H03H 9/02 M ,  H03H 9/02 N
Fターム (13件):
5J108AA03 ,  5J108AA07 ,  5J108BB04 ,  5J108CC01 ,  5J108CC11 ,  5J108DD01 ,  5J108DD06 ,  5J108DD07 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 特開平4-349164
  • 特開平3-148186
  • 圧電薄膜共振子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-008646   出願人:三菱マテリアル株式会社
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審査官引用 (5件)
  • 特開平4-349164
  • 特開平3-148186
  • 圧電薄膜共振子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-008646   出願人:三菱マテリアル株式会社
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