特許
J-GLOBAL ID：200903035849725924
走査形プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-305043
公開番号（公開出願番号）：特開2002-116130
出願日： 2000年10月04日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：
【要約】【課題】 加熱ホルダの加熱によるスキャナの温度上昇を抑えることができる走査形プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 円筒状の熱絶縁部材8は低熱伝導性のセラミックスで作られており、その径d1と厚みd2は前記スキャナ1のそれらとほぼ同じである。そして、熱絶縁部材8の一端はスキャナ1の上端部に接着されており、一方、熱絶縁部材8の他端は前記ホルダ取付部4に接着されている。このような円筒状の熱絶縁部材8を備えたスキャナにおいては、ヒータ6を高温に加熱しても、ヒータ6からホルダ取付部4に伝わった熱は、熱絶縁部材8で絶縁されてスキャナ1側にほとんど伝わらない。このため、加熱ホルダを高温に加熱しても、スキャナの温度上昇が抑えられ、従来のようなスキャナの破損を防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
試料を加熱するための加熱ホルダを円筒状のスキャナに装着するようにした走査形プローブ顕微鏡において、円筒軸が前記スキャナの円筒軸とほぼ一致するように、前記スキャナの端部に取り付けられた円筒状の熱絶縁部材を備え、前記加熱ホルダを前記熱絶縁部材を介して前記スキャナに装着するようにしたことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 13/10
, G01B 21/30
, G12B 21/08
G01N 13/10 D
, G01B 21/30
, G12B 1/00 601 D
2F069AA60
, 2F069DD01
, 2F069JJ15
, 2F069MM34
, 2F069RR03
, 2F069RR09
