特許
J-GLOBAL ID：200903039978458962
試料加熱装置および試料加熱・冷却装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-033576
公開番号（公開出願番号）：特開平9-231932
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【目的】試料を長時間高温で加熱してもスキャナの圧電素子を破損させることがないようにする。【構成】加熱用電源8により試料5が高温に加熱されたとき、この試料5の熱はヒートコンダクタ9を介固定台7に伝達される。固定台7は十分な熱容量を有しているので、伝えられた熱を確実に吸収しおよび外部に逃す。一方、ヒートコンダクタ9に伝えられた試料5からの熱は、熱絶縁体10によりスキャナ6の方へは伝達されない。したがって、試料5を高温で長時間加熱してもスキャナ6の温度が上昇することはなく、スキャナ6を構成する圧電素子の分極が破壊されることはない。
請求項（抜粋）：
試料を移動させるスキャナと、前記試料を加熱する加熱手段とを少なくとも備え、前記スキャナにより前記試料を移動させながら観察可能となっているとともに、前記試料を高温に加熱した状態で観察可能となっている試料観察装置における試料加熱装置おいて、前記スキャナと前記試料との間に、前記試料が装着されてこの試料からの熱を逃す、熱伝導材からなるヒートコンダクタが介在されていることを特徴とする試料加熱装置。
引用特許：
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