誘導加熱装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：渡邊隆文 , 喜多秀樹 , 坂本寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-187858
公開番号（公開出願番号）：特開2005-025983
出願日： 2003年06月30日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】複雑な装置構造を採用することなく、誘導加熱される加熱体の表面温度のばらつきを抑制することで加熱対象物の加熱ムラを緩和することができる誘導加熱装置を提供する。【解決手段】本発明の誘導加熱装置11に用いられる誘導加熱コイル15は、高周波電流が供給される複数の一対の端子部17a、17bを有している。そして、これら複数の端子部17a、17bを非直線状に配するか、面内全体に分散させて配するようにした。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

電力供給路と、前記電力供給路と接続される端子部を複数有する誘導加熱コイルと、前記誘導加熱コイルの片面側に離隔して配置され、その誘導加熱コイルにより誘導加熱される加熱体と、を備えた誘導加熱装置であって、前記誘導加熱コイルの複数の端子部が、非直線状に配されていることを特徴とする誘導加熱装置。

IPC (3件)：

H05B6/44 , H01L21/02 , H05B6/36

FI (3件)：

H05B6/44 , H01L21/02 Z , H05B6/36 F

Fターム (4件)：

3K059AA08 , 3K059AB26 , 3K059AD05 , 3K059CD65

引用特許：

審査官引用 (1件)

基板の加熱装置及び基板の加熱方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-213378 出願人：コンセプト・システムズ・デザイン・インコーポレイテッド, アドバンスト・エナジー・インダストリーズ・インコーポレイテッド

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