薄膜磁気ヘッド用基板及びこれを用いた薄膜磁気ヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-109932
公開番号（公開出願番号）：特開平10-302223
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】放熱性、絶縁性に優れ、かつ表面が極めて平滑な薄膜磁気ヘッド用基板を得る。【解決手段】セラミックスまたは単結晶体からなる基板上に、常温熱伝導率45W/m・K以上、体積固有抵抗108 Ω・cm以上で、厚さ10〜1500Åの高熱伝導絶縁膜を備えて薄膜磁気ヘッド用基板を構成する。

請求項（抜粋）：

セラミックスまたは単結晶体からなる基板上に、常温熱伝導率45W/m・K以上、体積固有抵抗108 Ω・cm以上で、厚さ10〜1500Åの高熱伝導絶縁膜を備えて成る薄膜磁気ヘッド用基板。

IPC (4件)：

G11B 5/31 , C04B 41/89 , G11B 5/39 , H01F 10/28

FI (4件)：

G11B 5/31 G , C04B 41/89 Z , G11B 5/39 , H01F 10/28

引用特許：

審査官引用 (5件)

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