複合型薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-360503
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195207
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】磁極部分を微細化しても磁束の飽和や漏れが少なく、スロートハイト、アペックスアングル、MRハイトなどを正確に所望の値にできる複合型薄膜磁気ヘッドおよびそれを効率良く、迅速に量産できる方法を提供する。【解決手段】 MR膜32の下部シールドである第1の磁性膜24をマスクとして基体23に凹部25を形成し、凹部内に第2の磁性膜27と、薄膜コイル30を形成し、平坦化して複合型薄膜磁気ヘッド製造用の共通ユニットを形成する。その後、第2の磁性膜27と連結してボトムポールを構成するように第3の磁性膜34を形成し、平坦化した後、ライトギャップ膜36およびトップポールを構成する第4の磁性膜37を平坦に形成し、その磁極部分をマスクにライトギャップ膜および第3の磁性膜をドライエッチングして磁極部分を形成る。共通ユニットの薄膜コイル30の上方に絶縁膜や追加の薄膜コイルを盛り上げても良い。

請求項（抜粋）：

読み取り用の磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドと、書き込み用の誘導型薄膜磁気ヘッドとを積層した状態で基体により支持した複合型薄膜磁気ヘッドであって、一方の面に凹部を有する基体と、この基体の面に沿って、エアベアリング面を構成する端面から前記凹部の端縁近傍までまたは凹部の端縁を越えて凹部内面まで延在して、磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドに対する一方のシールドを構成する第1の磁性膜と、この第1の磁性膜と磁気的に分離された状態で、前記凹部の内面の一部に沿って延在して誘導型薄膜磁気ヘッドの一方のポールの一部を構成する第2の磁性膜と、前記凹部内に、絶縁膜によって絶縁分離された状態で少なくとも一部が形成され、誘導型薄膜磁気ヘッドを構成する薄膜コイルと、前記第1の磁性膜の、前記基体とは反対側の面に沿って延在するシールドギャップ膜中に、電気的および磁気的に絶縁分離された状態で配設された磁気抵抗素子と、このシールドギャップ膜の、前記基体とは反対側の面に沿って延在し、磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドに対する他方のシールドを構成するとともに前記凹部内に形成された第2の磁性膜と連結されて、誘導型薄膜磁気ヘッドの一方のポールの残部を構成する第3の磁性膜と、少なくともこの第3の磁性膜の、前記基体とは反対側の面に沿って延在するライトギャップ膜と、このライトギャップ膜の、前記基体とは反対側の面に沿って延在して前記第3の磁性膜と対向するとともにエアベアリング面から離れた後方位置において前記第2の磁性層と磁気的に結合され、誘導型薄膜磁気ヘッドの他方のポールを構成する第4の磁性膜と、を具えることを特徴とする複合型薄膜磁気ヘッド。

IPC (3件)：

G11B 5/31 , G11B 5/265 , G11B 5/39

FI (3件)：

G11B 5/31 K , G11B 5/265 F , G11B 5/39

引用特許：

審査官引用 (5件)

複合型薄膜磁気ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-099468 出願人：日本電気株式会社
読取り/書込み磁気抵抗(MR)ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-336940 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
特開昭63-152008

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