半導体装置とその試験方法及び半導体装置の試験治具

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-100039
公開番号（公開出願番号）：特開平9-289234
出願日： 1996年04月22日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】ウェハー上に形成された半導体装置の自己試験に要する時間を短縮する。【解決手段】半導体ウェハー上の単一のペレット領域に、半導体装置としてのFLASH-ROM11と、このFLASH-ROMの試験を行うマイクロコンピュータ12と、マイクロコンピュータが試験を行うために使用する試験用命令を記憶するファームROM13とを形成し、マイクロコンピュータにより行った試験の結果を試験対象であるFLASH-ROMに記憶させる。

請求項（抜粋）：

ウェハー上に形成される半導体装置において、自己試験を行う試験手段と、前記自己試験を行った結果を記憶する不揮発性メモリとを有し、前記試験手段が、前記不揮発性メモリに前記結果を記憶させる手段を含むことを特徴とする半導体装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 , G01R 1/06 , G01R 31/28 , H01L 27/04 , H01L 21/822

FI (7件)：

H01L 21/66 F , H01L 21/66 E , H01L 21/66 W , G01R 1/06 E , G01R 31/28 V , G01R 31/28 B , H01L 27/04 T

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平3-269900
特開平3-167487
特開平2-028947

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審査官引用 (7件)

特開平2-028947
特表昭58-502122
特開平3-269900

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