特許
J-GLOBAL ID：200903035944021357
静電駆動型ミラー装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-194064
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037791
出願日： 2002年07月03日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】静電駆動ミラーに自己保持特性を付与すると共に、駆動電圧源数を大幅に削減して安定した高信頼性の動作の可能な静電駆動型ミラー装置を提供する。【解決手段】静電駆動により可変動作する静電駆動ミラー21と、該静電駆動ミラーを駆動するためのミラー駆動電極22と該ミラー駆動電極に駆動電圧を印加するための信号配線24とを含み同一の半導体基板20上に構成された静電ミラー駆動部と、該静電ミラー駆動部に外部から電圧を供給するための可変電圧源25と、前記静電ミラー駆動部への印加電圧制御駆動用の駆動スイッチ26と、印加電圧保持用の保持容量27と、前記駆動スイッチと可変電圧源を制御するための制御部28とで静電駆動型ミラー装置を構成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
静電駆動により可変動作する静電駆動ミラーと、該静電駆動ミラーを駆動するためのミラー駆動電極と該ミラー駆動電極に駆動電圧を印加するための信号配線とを少なくとも含み同一の半導体基板上に構成された静電ミラー駆動部と、該静電ミラー駆動部に外部から電圧を供給するための可変電圧源とを少なくとも備えた静電駆動型ミラー装置において、前記静電ミラー駆動部への印加電圧制御駆動用の駆動スイッチ及び印加電圧保持用の保持容量と、少なくとも前記駆動スイッチと前記可変電圧源を制御するための制御部とを設けたことを特徴とする静電駆動型ミラー装置。
IPC (3件)：
G02B26/08
, B81B3/00
, B81B7/02
G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81B7/02
2H041AA14
, 2H041AA18
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
