感湿素子及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-109386
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318525
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】基板11の表面に、-Si-結合を含む共有結合を介して高分子電解質15を固定して感湿膜16を形成することにより、耐水性に優れた感湿素子を得る。【構成】活性水素12を含むアルミナ基板11を、テトラクロロシラン (SiCl4 )を1wt%含むシクロヘキサン溶液に30分間浸漬し、脱塩化水素反応により基板表面にSiCl基14を有するシラン化合物単分子膜層13を形成する。次にこの基板を高分子電解質であるポリ-2-ヒドロキシ-3-メタクリルオキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライドに1時間浸漬して、基板表面に析出したSiCl基14と高分子電解質分子中の水酸基との間で脱塩化水素反応させ、シラン化合物単分子に共有結合により固定する。

請求項（抜粋）：

基板上に感湿膜を具備した感湿素子において、前記感湿膜は前記基板表面に少なくとも-Si-結合を含む共有結合を介して、高分子電解質からなる感湿分子が固定されて構成されていることを特徴とする感湿素子。

引用特許：

審査官引用 (3件)

湿度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-107069 出願人：松下電器産業株式会社
特開昭58-176538
特開昭62-247239

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