特許

J-GLOBAL ID：200903035959706640

電子光学機器

発明者： 守 屋 俊 夫
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-022826
公開番号（公開出願番号）：特開2006-210232
出願日： 2005年01月31日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】 コンピュータ制御された電子光学機器において、電子ビーム軌道を可視化することにより操作性を向上させる。【解決手段】 電子光学系の設計値及び/又は軸調整データに基づいて作成される電子ビーム軸軌道の内部データと、電子光学系の設定パラメータとに基づいて電子ビーム軌道を計算する演算手段と、前記演算手段により求められた前記電子ビーム軌道を表示する表示手段とを備え、変更された設定パラメータを読み取り、電子ビーム軌道をリアルタイムでシミュレーション計算し、可視化して表示する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に電子線を照射して観察や分析等を行う電子光学機器であって、電子光学系を制御するための制御手段と、前記電子光学系の設定パラメータを読み取る手段を有し、 前記電子光学系の設計値及び/又は軸調整データに基づいて計算される電子ビーム軌道計算に必要な内部データと前記電子光学系の設定パラメータとに基づいて電子ビーム軌道を計算する演算手段と、前記演算手段により求められた前記電子ビーム軌道を表示する表示手段とを備え、 電子ビーム軌道を前記演算手段で再計算により求めて、前記表示手段により可視化して表示する、ことを特徴とする電子光学機器。

IPC (2件)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/04

FI (3件)：

H01J37/22 502D ,  H01J37/22 501J ,  H01J37/04 B

Fターム (1件)：

5C030AA06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-137720   出願人：日本電子株式会社
• 実開昭60-129064号公報