電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-137720
公開番号（公開出願番号）：特開2003-331773
出願日： 2002年05月13日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】熟練者でなくとも簡単に非点補正や電子ビームの軸合わせを行なうことができる電子顕微鏡を実現する。【解決手段】ロンチグラムによって非点又は軸合わせのずれを明瞭に表示可能な視野を光軸上に位置させた後、ロンチグラムのボタンをクリックする。このロンチグラムモードが選択されると、ロンチグラム用の結像条件に各レンズやアライメントコイルが制御される。更に、電子光学系を走査透過電子顕微鏡モードに維持した状態で、TVカメラ28か31が選択されて光軸上に配置される。この状態で、ロンチグラム信号がTVカメラから得られ、その信号は透過電子顕微鏡像のTV電源40、インターフェイス43を介してコンピュータ44に供給される。この結果、表示装置49の像表示領域50には、適切な大きさと明るさのロンチグラムが表示されるので、オペレータは、ロンチグラムを観察しながら非点の補正とアライメントの調整を行なう。

請求項（抜粋）：

照射レンズ系により比較的大きな径の電子ビームを試料に照射し、試料を透過した電子を結像レンズ系でTVカメラのスクリーン上に結像するようにし、TVカメラから得られた映像信号をディスプレイに供給して透過電子顕微鏡像を表示するようにした透過電子顕微鏡像観察モードと、照射レンズ系のレンズ強度を変化させ、試料に照射される電子ビームプローブの径を比較的小さくし、更に試料に照射される電子ビームを2次元的に走査するようにし、試料を透過した電子をTVカメラに代えて光軸上に配置された検出器によって検出し、検出器によって検出された映像信号を、電子ビームの走査に応じてディスプレイに供給して走査透過電子顕微鏡像を表示するようにした走査透過電子顕微鏡像観察モードとを選択的に切り替えられる電子顕微鏡であって、該電子顕微鏡は、各レンズの非点を補正する手段と電子ビームの軸合わせのためのアライメントコイルを備え、更に、各レンズの強度、電子ビームの走査、検出器とTVカメラの選択とを自動的に制御し得るシステムを備えており、該システムに対してロンチグラムの表示を指示すると、電子光学系は走査透過電子顕微鏡像モードに自動的に設定され、その際、電子ビームの試料上での走査を行わず、試料を透過して形成された光軸上の回折パターンをTVカメラによって検出し、TVカメラからの映像信号をディスプレイに表示するように構成した電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/28 , H01J 37/244 , H01J 37/26

FI (4件)：

H01J 37/28 C , H01J 37/28 B , H01J 37/244 , H01J 37/26

Fターム (6件)：

5C033EE04 , 5C033HH01 , 5C033NN03 , 5C033SS04 , 5C033SS07 , 5C033UU06

引用特許：

審査官引用 (3件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-326571 出願人：日本電子株式会社
冷蔵庫
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-042733 出願人：株式会社富士通ゼネラル
微小部分析装置及び分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-269237 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ

引用文献：

審査官引用 (2件)

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