特許

J-GLOBAL ID：200903036013947759

真空蒸着装置のための蒸発装置

発明者： ギュンター クレム ,  ハンス ノイデルト ,  ヴォルフガング アハトナー
出願人/特許権者： ライボルト システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269051
公開番号（公開出願番号）：特開2000-096214
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】 電気ヒータによって加熱される、供給しようとする金属を蒸発させるための坩堝を備えた蒸発器と、発生した金属蒸気を吐出するためのノズルギャップを備えたノズル体とを有している、真空蒸着装置のための蒸発装置を改良して、蒸発率をできるだけ迅速に変えることができ、蒸発された金属による汚染ができるだけ少なく、ひいては装置を停止させることなしにできるだけ長いプロセス時間が可能なものを提供する。【解決手段】 ノズル体1が中空体として構成されていて、蒸発器3が、前記ノズル体1に接続された、坩堝を形成する蒸発器ケーシング4を有している。

請求項（抜粋）：

真空蒸着装置のための蒸発装置であって、電気ヒータによって加熱される、供給しようとする金属を蒸発させるための坩堝を備えた蒸発器と、発生した金属蒸気を吐出するためのノズルギャップを備えたノズル体とを有している形式のものにおいて、ノズル体(1)が中空体として構成されていて、蒸発器(3)が、前記ノズル体(1)に接続された、坩堝を形成する蒸発器ケーシング(4)を有していることを特徴とする、真空蒸着装置のための蒸発装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特許第868091号
  
• 真空ウェブ・コーテング用方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-274823   出願人：ジエネラル・バキユーム・エクイプメント・リミテツド, インペリアル・ケミカル・インダストリーズ・ピーエルシー