特許
J-GLOBAL ID：200903036015153768
圧電/電歪素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-305099
公開番号（公開出願番号）：特開平10-190086
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】電圧無負荷状態と電圧印加状態での相対変位量や、互いに逆方向の電界をかけた状態での相対変位量を大幅に拡大でき、アクチュエータとして利用した場合の制御の容易性、センサとして利用した場合の感度の向上を実現させる。【解決手段】圧電/電歪層20と該圧電/電歪層20の一主面に形成された一対の電極22a及び22bとを有するアクチュエータ部本体24と、圧電/電歪層20の他主面に接してアクチュエータ部本体24を支持する振動部16と、該振動部16を振動可能に支持する固定部18とを有するユニモルフ型のアクチュエータ部12を具備する圧電/電歪素子において、一対の電極22a及び22b間の距離をx(1μm≦x≦200μm)、圧電/電歪層20の厚みをy(1μm≦y≦100μm)としたとき、y=axの関係を有し、かつ、1/10≦a≦100として構成する。
請求項（抜粋）：
圧電/電歪層と、該圧電/電歪層の一主面に形成された一対の電極とを有する圧電/電歪作動部と、前記圧電/電歪層の他主面に接して前記圧電/電歪作動部を支持する振動部と、前記振動部を振動可能に支持する固定部とを有するユニモルフ型の圧電/電歪素子本体を具備した圧電/電歪素子において、前記一対の電極間の所定電界の4倍以上の印加電界による前記圧電/電歪素子本体の屈曲変位特性が、基準電界点を中心に非対称であることを特徴とする圧電/電歪素子。
IPC (4件)：
H01L 41/09
, G01L 1/16
, H01L 41/08
, H02N 2/00
H01L 41/08 C
, G01L 1/16
, H02N 2/00 B
, H01L 41/08 Z
