特許
J-GLOBAL ID：200903036022853430

水素化スズの供給方法および供給装置

発明者：
三好 伸二

三好 伸二 について

, 
亀岡 崇史

亀岡 崇史 について


出願人/特許権者：
日本エア・リキード株式会社

日本エア・リキード株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-106010
公開番号（公開出願番号）：特開2009-259973
出願日： 2008年04月15日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：
【課題】 簡易な構成によって、充填容器から安全かつ効率よく供給するとともに、簡便な処理と優れた操作性を有する水素化スズの供給方法および供給装置を提供すること。【解決手段】 水素化スズが充填された所定容器1、所定容器1から水素化スズガスの供給を受けるプロセス装置2と、プロセス装置2と所定容器1を接続する配管部3と、配管部3に設けられた圧力調整器R・圧力検出器P1〜P3・マスフローコントローラMのいずれかまたはそのいくつかと、配管部3にパージガスを供給するパージガス供給装置5と、パージガス供給装置5からのパージガス流路6a〜6cおよび配管部3との接続部を有するパージガス配管部6と、前記各部の動作を制御管理する制御部4からなることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
所定容器に充填された水素化スズをプロセス装置に供給する水素化スズの供給方法において、前記所定容器の内部および該所定容器から前記プロセス装置までの流路を樹脂コーティングするとともに、該流路の温度を水冷温度(10°C)以下水素化スズの沸点以上の温度範囲に保持することを特徴とする水素化スズの供給方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  H05G 2/00
FI (2件)：
H01L21/30 531S ,  H05G1/00 K
Fターム (6件)：
4C092AA07 ,  4C092AB10 ,  4C092AC08 ,  4C092BD18 ,  4C092BD19 ,  5F046GC03
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 放電極端紫外光発光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-074850   出願人：ウシオ電機株式会社
  • 特開昭60-42203号公報

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