特許
J-GLOBAL ID：200903086840623243
放電極端紫外光発光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-074850
公開番号（公開出願番号）：特開2006-261294
出願日： 2005年03月16日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：
【課題】 液化モノスタナン容器からプラズマ生成部へのSnH4 ガスの供給流量を一定にし、EUV出力を安定化すること。【解決手段】 配管4に流量計14を設けて、該流量計14でプラズマ生成部3へのSnH4 ガスの供給流量を計測する。流量計14の出力信号を制御部15に入力し、制御部15によりバルブ10の開度を調整し、液化モノスタナン容器1に巻かれたガスパイプ9に流すガス8の流量を調整する。液化モノスタナン容器1内で液化SnH4 2が蒸発するときに気化熱を奪うが、上記構成とすることにより、液化SnH4 2の温度が調整され、SnH4 ガスのプラズマ生成部3への供給量を一定に制御することができる。また、流量計14を設ける代わりに、液化モノスタナン容器1のガス圧を検出するガス圧計を設けて、液化モノスタナン容器1内のガス圧を制御して、SnH4 ガスのプラズマ生成部3への供給量を一定にするようにしてもよい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
モノスタナン(SnH4 )ガスを放電によりプラズマ化し、そのプラズマ中のSnイオンから主波長13.5nmの極端紫外(EUV)光を得るEUV発光装置において、
液化モノスタナン容器内の液体SnH4 の温度を調整し、プラズマを生成するためのプラズマ生成部に一定量のSnH4 ガスを供給する
ことを特徴とする放電極端紫外光発光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G21K 5/02
, H05G 2/00
H01L21/30 531S
, G03F7/20 503
, G21K5/02 X
, H05G1/00 K
2H097CA15
, 2H097LA10
, 4C092AA04
, 4C092AA14
, 4C092AA15
, 4C092AB12
, 4C092AC09
, 4C092BD17
, 4C092BD18
, 5F046GA03
, 5F046GC03
