特許
J-GLOBAL ID：200903036035927751
ダイヤモンド状カーボンを粒子にコーティングする方法と装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-522295
公開番号（公開出願番号）：特表2001-524603
出願日： 1998年10月07日
公開日（公表日）： 2001年12月04日
要約：
【要約】添加成分を含むことができるダイヤモンド状網目構造でコーティングされている粒子を作製する方法。当該方法は、電極のまわりにイオン鞘が形成されており、粒子を実質的にイオン鞘内に保持しながらプラズマ中の活性種に粒子表面がさらされるように攪拌する高周波電力が与えられる真空の容量結合型反応炉系内で、多数の粒子を炭素系プラズマにさらすステップを含んでいる。本発明の利点は、(i)DLNを粒子に効率的に高速で蒸着できること、(ii)高密度に詰まったDNLコーティングを蒸着できること、(iii)DLN蒸着前に酸素およびアルゴン含有プラズマを利用した現場イオンボンバードによって粒子の表面クリーニングを実行できること、および(iv)コーティングプロセス中にコーティングの組成とイオンボンバードの強度を操作することによってコーティングの内部特性と表面特性とを調整できること等である。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンド状網目構造を粒子に蒸着させる方法であって、 排気可能な反応室に2つの電極を有する容量結合反応炉系を用意するステップと、 一方の前記電極の上または近傍に複数の粒子を配置するステップと、 前記反応室を排気するステップと、 一方の前記電極に高周波(RF)電力を与えるとともに他方の前記電極を接地するステップと、 炭素含有源を前記反応チャンバに導入することにより、前記複数の粒子の近傍に反応種を有するプラズマを形成させ且つ前記電極の周囲にイオンさやを形成するステップと、 前記複数の粒子を実質的にイオンさやの中に保持しつつ、前記粒子の表面を前記プラズマ中の前記反応種にさらすように前記複数の粒子を攪拌するステップと、を含む方法。
IPC (3件)：
C23C 16/27
, B22F 1/02
, C23C 16/505
C23C 16/27
, B22F 1/02 D
, C23C 16/505
4K018BC28
, 4K030AA04
, 4K030AA09
, 4K030AA10
, 4K030AA14
, 4K030AA16
, 4K030AA18
, 4K030AA24
, 4K030BA28
, 4K030BB01
, 4K030CA00
, 4K030CA05
, 4K030CA18
, 4K030EA05
, 4K030EA08
, 4K030FA03
, 4K030GA04
, 4K030JA01
, 4K030KA08
, 4K030KA15
