ペースト塗布装置およびペースト塗布方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-092595
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286275
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】塗布効率を向上させ、塗布品質を確保することができるペースト塗布装置およびペースト塗布方法を提供することを目的とする。【解決手段】リードフレームの塗布エリア6aに塗布ノズルによりペースト7を描画塗布するペースト塗布方法において、ノズルの吐出口を塗布開始点から塗布エリア6aの各コーナー位置近傍に設定される第1のノズル通過点P1(A,B,C,D)および塗布エリア6aの内側に設定される第2のノズル通過点P2(A,B,C,D)とを順次経由して塗布終了点に至るまでの移動経路を一筆描き動作によって移動させ、1つのコーナーから次のコーナーに至る移動経路が塗布エリア6aの内側に入り込む形状となるようにした。これにより、吐出の断続による塗布効率の低下や、塗布量のばらつき、塗布形状不良などの不具合を防止することができる。

請求項（抜粋）：

塗布ノズルの吐出口からペーストを吐出させて塗布対象物の表面に設定された塗布エリア内にペーストを塗布するペースト塗布装置であって、前記吐出口からペーストを吐出させるペースト吐出手段と、前記吐出口を前記塗布対象物に対して相対的に移動させる移動手段と、前記ペースト塗布の塗布開始点、塗布終了点および前記塗布エリアの各コーナー位置近傍に設定されるノズル通過点の位置を記憶する記憶手段と、前記吐出口が前記塗布開始点から前記ノズル通過点を経由して塗布終了点に至るまでの移動を一筆描き動作によって行わせるべく前記移動手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするペースト塗布装置。

IPC (4件)：

H01L 21/52 , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , B05D 3/00

FI (4件)：

H01L 21/52 G , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 Z , B05D 3/00 D

Fターム (15件)：

4D075AC07 , 4D075AC92 , 4D075AC93 , 4D075DA06 , 4D075DB14 , 4D075DC22 , 4D075EA35 , 4F041AA06 , 4F041BA05 , 4F041BA22 , 4F041BA34 , 4F041BA57 , 5F047BB11 , 5F047BB16 , 5F047FA21

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-276634
特開平2-276253
特開昭60-010310

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