特許

J-GLOBAL ID：200903036085330926

テラヘルツ光測定装置

発明者： 津村 直希
出願人/特許権者： 株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-033643
公開番号（公開出願番号）：特開2005-227021
出願日： 2004年02月10日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】 装置コストを低減でき、装置の設置面積を小さくすることができるテラヘルツ光測定装置を提供すること。【解決手段】 テラヘルツ光測定装置100は、偏光成分を有するテラヘルツパルス光T1を放射する光伝導アンテナ3と、テラヘルツパルス光T1を透過測定試料S1へ導く場合と、反射測定試料S2へ導く場合と、透過測定試料S1および反射測定試料S2の両者へ導く場合とを切り換え可能なワイヤーグリッド5と、透過測定試料S1を透過したテラヘルツパルス光T4の偏光方向にアンテナの向きを合わせて検出する透過光検出器8と、反射測定試料S2から反射したテラヘルツパルス光T5の偏光方向にアンテナの向きを合わせて検出する反射光検出器13とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

テラヘルツ光を放射するテラヘルツ光源と、 前記テラヘルツ光源から放射されるテラヘルツ光を透過測定試料へ導く第1の状態と、該テラヘルツ光を反射測定試料へ導く第2の状態と、該テラヘルツ光を前記透過測定試料および反射測定試料の両者へ導く第3の状態とを切り換え可能な光路切換え手段と、 前記透過測定試料を透過した透過テラヘルツ光を受光するように配置される透過光検出部と、 前記反射測定試料から反射した反射テラヘルツ光を受光するように配置される反射光検出部とを備えることを特徴とするテラヘルツ光測定装置。

IPC (2件)：

G01N21/35 ,  G01N21/21

FI (2件)：

G01N21/35 Z ,  G01N21/21 Z

Fターム (21件)：

2G059AA01 ,  2G059BB08 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK03 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM08 ,  2G059PP04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 測定方法及び装置、並びに、イメージ化方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-074551   出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン