露光光学系

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-247610
公開番号（公開出願番号）：特開平11-074172
出願日： 1997年08月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】低コストかつ光路長が短いにもかかわらず、平行度の優れた露光光学系を提供すること。【解決手段】光源10と、集光手段20と、2次光源作成手段30と、コリメーター40から成る露光光学系において、光線Aがコリメーター40の接平面41から出射する角αと光線Bがコリメーター40の接平面41から出射する角βがほぼ等しくなるようにコリメーター40を弾性変形させる。ただし、光線Aはコリメーター40へ入射する光軸上の主光線、光線Bはコリメーター40へ入射する光軸外を通る主光線である。

請求項（抜粋）：

光源10と、集光手段20と、2次光源作成手段30と、コリメーター40から成る露光光学系において、光線Aがコリメーター40の接平面41から出射する角αと光線Bがコリメーター40の接平面41から出射する角βがほぼ等しくなるようにコリメーター40を弾性変形させたことを特徴とする露光光学系。ただし、光線Aはコリメーター40へ入射する光軸上の主光線、光線Bはコリメーター40へ入射する光軸外を通る主光線である。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-168147
近接露光方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-350473 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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