特許

J-GLOBAL ID：200903036098258434

慣性センサのためのカップリング装置

発明者： ジーン, ジョン エー. ,  クラーク, ウィリアム エー. ,  クアン, ジンボ
出願人/特許権者： アナログ デバイシス, インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-508620
公開番号（公開出願番号）：特表2007-532924
出願日： 2005年04月14日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：

カップリング装置は、平行な軸に沿った慣性センサエレメントフレームの逆位相の運動を許すが、フレームの同位相の運動を実質的に妨げる。カップリング装置は、第一と第二のセンサエレメントフレームとの間に結合されたバーおよびバーを支持する少なくとも1つの支持構造を含む。少なくとも1つの構造は、フレームの下にある基板に結合される。構造は、フレームが実質的に平行な軸に沿って互いに逆位相で動くときには、バーがピボットポイントで回転することを許すが、フレームの同位相の動きを実質的に妨げる。

請求項（抜粋）：

慣性センサのセンサエレメントを結合するための装置であって、 第一と第二のセンサエレメントフレームとの間に結合されたバーと、 該バーを支持する少なくとも1つの支持構造と、を備え、 該少なくとも1つの構造は、該フレームの下にある基板に結合され、該構造は、該フレームが別々の実質的に並行な軸に沿って互いに逆位相で動くときには該バーがピボットポイントで回転することを許すが、該フレームの同位相の運動を実質的に妨げる、 装置。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z

Fターム (12件)：

2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD01 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 振動式ジャイロのマイクロマシンの振動子
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-527274   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 特許第6230563号
  
• 回転角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-306238   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• マイクロマシン加工デバイス
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-508958   出願人：アナログデバイセスインコーポレーテッド