特許

J-GLOBAL ID：200903028909548834

振動式ジャイロのマイクロマシンの振動子

発明者： ブルクハルト ビュストゲンス
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-527274
公開番号（公開出願番号）：特表平9-512106
出願日： 1995年04月11日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】本発明によれば振動式ジャイロのマイクロマシンの振動子において、連結範囲を介して互いに結合されていて逆位相で振動する2つの振動質量体を、少なくとも1つの懸吊ばねを用いて懸吊することが、提案される。この場合懸吊ばねは、振動方向に、おいて柔らかく、かつその他のすべての自由度においては著しく硬く構成されている。これによってヨーレート(絶対的な角速度)の回転モーメントが振動質量体に伝達可能である。コリオリ力の測定時における妨害信号は、減算によって抑制される。振動子は半導体材料から構成されており、かつ静電場又は電磁場において相応な電流供給によって振動を励起される。

請求項（抜粋）：

コリオリカを使用してヨーレート(絶対的な角速度)を検出するための振動式ジャイロのマイクロマシンの振動子であって、1つの支持体と2つの振動質量体とが設けられており、該支持体と振動質量体とは、可能な限り小さな連結質量体と振動ばねとから成る連結範囲を介して、振動質量体が一平面において逆位相的に振動するように、機械的に結合されており、さらに少なくとも1つの懸吊ばねが設けられていて、該懸吊ばねがその一方の端部で支持体と結合されている形式のものにおいて、少なくとも1つの懸吊ばね(6)の他方の端部が、連結範囲(3,4,5)及び/又は両方の振動質量体(1,2)と結合されており、少なくとも1つの懸吊ばね(6)が次のように、すなわち該懸吊ばねが振動質量体(1,2)の振動方向においては柔らかく、かつその他のすべての自由度においては著しく硬く、しかもこの場合ヨーレートの回転モーメントを振動質量体(1,2)に伝達するように、構成されていることを特徴とする、振動式ジャイロのマイクロマシンの振動子。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-242114
  
• 多軸振動モノリシックジャイロスコープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-301707   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
• 角速度センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-156337   出願人：ルーカス・インダストリーズ・パブリック・リミテッド・カンパニー
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-113910   出願人：株式会社村田製作所