光導波路膜の形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-227606
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064662
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【解決手段】酸水素火炎バーナーから酸化物ガラス微粒子をテーブル上の基板に対し相対的に移動させながら堆積させて多孔質酸化物ガラス膜を形成すると共に、上記基板に堆積されなかった酸化物ガラス微粒子を排気管により排出させる多孔質酸化物ガラス膜形成工程を有し、上記多孔質酸化物ガラス膜を加熱することによって透明な酸化物ガラス膜を形成する光導波路膜の形成方法において、上記相対的移動を停止した静止状態における基板への酸化物ガラス膜の膜厚分布が、上記バーナーの噴出口と排気管の排気口とを結ぶ方向で極大値が一つとなるように酸化物ガラス膜の堆積を行うことを特徴とする光導波路膜の形成方法。【効果】本発明によれば、基板に酸化物ガラス膜を可及的に均一に形成でき、基板内のガラス膜厚のばらつきが非常に少ないものである。

請求項（抜粋）：

酸水素火炎バーナーから酸化物ガラス微粒子をテーブル上の基板に対し相対的に移動させながら堆積させて多孔質酸化物ガラス膜を形成すると共に、上記基板に堆積されなかった酸化物ガラス微粒子を排気管により排出させる多孔質酸化物ガラス膜形成工程を有し、上記多孔質酸化物ガラス膜を加熱することによって透明な酸化物ガラス膜を形成する光導波路膜の形成方法において、上記相対的移動を停止した静止状態における基板への酸化物ガラス膜の膜厚分布が、上記バーナーの噴出口と排気管の排気口とを結ぶ方向で極大値が一つとなるように酸化物ガラス膜の堆積を行うことを特徴とする光導波路膜の形成方法。

IPC (3件)：

G02B 6/13 , C03B 8/04 , C03B 19/14

FI (3件)：

G02B 6/12 M , C03B 8/04 , C03B 19/14

引用特許：

審査官引用 (1件)

光導波膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-063826 出願人：住友電気工業株式会社

前のページに戻る