特許
J-GLOBAL ID:200903036114844632
トリプル・ウェル半導体デバイスの静電放電保護回路
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
坂口 博
, 市位 嘉宏
, 上野 剛史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-431428
公開番号(公開出願番号):特開2004-221569
出願日: 2003年12月25日
公開日(公表日): 2004年08月05日
要約:
【課題】単独か直列構成かいずれかでトリプル・ウェル半導体デバイスを使用する静電放電保護回路を提供する。【解決手段】半導体デバイスは、好ましくはダイオード接合型構成である。半導体デバイスを直列構成で使用するとき、制御回路を使用してバイアス印加を制御することができる。領域3および3Aは、nドープされ、nドープ領域8まで下方に延びて、p-ドープ領域6を基板領域10から分離するようにリングを形成する。領域3および3Aは、領域6の分離をもたらす他の寸法の絶縁を有することができる。その上、領域3および3Aは、単一の打込み、または異なるエネルギーまたはドーズ量の複数の打込みを使用して形成することができる。領域6は、基板10からの分離を可能にするように、pドープされる。この実施形態では、p-nダイオードの金属学的接合は、p-領域6が領域3、領域3Aおよび領域8に境を接するところに形成される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1のドーパントの型の基板と、
前記基板の内部にある、第2のドーパントの型の第1のドープされた領域と、
前記第1のドープされた領域の上にある第2のドープされた領域と、
前記第2のドープされた領域の上にある第3のドープされた領域と、
前記第3のドープされた領域の縁部を画定する縁構造と、
前記第2のドープされた領域を前記基板から隔離する第4の構造とを備える半導体デバイス。
IPC (6件):
H01L21/822
, H01L21/761
, H01L21/8238
, H01L27/04
, H01L27/06
, H01L27/092
FI (6件):
H01L27/04 H
, H01L27/06 311B
, H01L27/06 311C
, H01L27/04 A
, H01L27/08 321H
, H01L21/76 J
Fターム (47件):
5F032AA35
, 5F032AA45
, 5F032AA47
, 5F032AA49
, 5F032BA02
, 5F032CA15
, 5F032CA17
, 5F032CA18
, 5F032CA20
, 5F032DA25
, 5F038BH04
, 5F038BH05
, 5F038BH06
, 5F038BH13
, 5F038BH15
, 5F038BH18
, 5F038CA02
, 5F038CA09
, 5F038CD02
, 5F038DF01
, 5F038EZ12
, 5F038EZ13
, 5F038EZ14
, 5F038EZ15
, 5F038EZ16
, 5F038EZ20
, 5F048AA02
, 5F048AA03
, 5F048AC03
, 5F048AC04
, 5F048AC05
, 5F048BA06
, 5F048BA12
, 5F048BA14
, 5F048BA16
, 5F048BC16
, 5F048BE02
, 5F048BG01
, 5F048BG02
, 5F048BG13
, 5F048BG14
, 5F048CC06
, 5F048CC10
, 5F048CC13
, 5F048CC15
, 5F048CC19
, 5F048CC20
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
不揮発性半導体記憶装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-091822
出願人:松下電器産業株式会社
審査官引用 (1件)
-
不揮発性半導体記憶装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-091822
出願人:松下電器産業株式会社
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