特許

J-GLOBAL ID：200903036142719584

真空排気装置

発明者： 川村 毅 ,  香川 浩一
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (4件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎 ,  小杉 良二 ,  森 友宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-358424
公開番号（公開出願番号）：特開2005-120955
出願日： 2003年10月17日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】大量の気体を排気することができ、かつ、モータへの過負荷を防止することができる真空排気装置を提供する。【解決手段】真空チャンバ60に接続される第1の真空ポンプ1と該第1の真空ポンプ1に接続される第2の真空ポンプ2とを備えた真空排気装置において、第1の真空ポンプ1は、一対の多段ポンプロータ20を備えている。多段ポンプロータ20は、互いに幅の異なる吸気側ロータ20aと排気側ロータ20bとを備え、吸気側ロータ20aの幅は前記排気側ロータ20bの幅よりも大きく設定されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空チャンバに接続される第1の真空ポンプと該第1の真空ポンプに接続される第2の真空ポンプとを備えた真空排気装置において、 前記第1の真空ポンプは、一対の多段ポンプロータを備えたことを特徴とする真空排気装置。

IPC (4件)：

F04C25/02 ,  F04B49/06 ,  F04C29/00 ,  F04C29/10

FI (8件)：

F04C25/02 M ,  F04C25/02 K ,  F04B49/06 341E ,  F04B49/06 341J ,  F04B49/06 341L ,  F04C29/00 D ,  F04C29/10 311C ,  F04C29/10 311R

Fターム (26件)：

3H029AA03 ,  3H029AA06 ,  3H029AA16 ,  3H029AB06 ,  3H029BB42 ,  3H029BB52 ,  3H029CC05 ,  3H029CC54 ,  3H029CC56 ,  3H029CC62 ,  3H029CC65 ,  3H029CC91 ,  3H045AA05 ,  3H045AA09 ,  3H045AA15 ,  3H045AA25 ,  3H045BA12 ,  3H045BA20 ,  3H045BA31 ,  3H045BA33 ,  3H045CA03 ,  3H045CA19 ,  3H045DA01 ,  3H045DA05 ,  3H045DA31 ,  3H045DA41

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-272492
  
• 真空排気装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-261715   出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社荏原電産