真空排気装置及び方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-261715
公開番号（公開出願番号）：特開2000-038999
出願日： 1998年09月16日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【課題】排気系の排気配管の径を細くしても、過負荷運転を回避して安定な稼動を行なうことができる真空排気装置及び排気方法を提供する。【解決手段】真空チャンバ10と、該真空チャンバを大気圧開口部へ繋ぐ排気配管34と、該排気配管に設けられた回転数可変な真空ポンプ32と、該真空ポンプの回転数を制御する制御部42とを有する。

請求項（抜粋）：

真空チャンバと、該真空チャンバを大気圧開口部へ繋ぐ排気配管と、該排気配管に設けられた回転数可変な真空ポンプと、該真空ポンプの回転数を制御する制御部とを有することを特徴とする真空排気装置。

IPC (2件)：

F04D 27/00 , F04D 19/04

FI (2件)：

F04D 27/00 D , F04D 19/04 H

Fターム (9件)：

3H021AA05 , 3H021BA23 , 3H021CA01 , 3H021DA04 , 3H021EA09 , 3H031DA02 , 3H031EA09 , 3H031EA13 , 3H031FA37

引用特許：

審査官引用 (7件)

ターボ型真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-008890 出願人：山形日本電気株式会社
真空排気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-136357 出願人：ダイキン工業株式会社
特開平2-042186

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