特許
J-GLOBAL ID：200903036143322106
元素分析用エッチング装置及びこのエッチング装置を用いた元素分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-271004
公開番号（公開出願番号）：特開平8-139145
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 元素分析の際の作業能率を高くしてしかも繰り返して正確分析を行う。【構成】 試料片をエッチング槽1に配置してエッチング槽にエッチング液を注入する。エッチング槽を傾けて接続部3を介してエッチング済み液を測定試料溶液として貯留槽2に移す。エッチング槽に洗浄液を注入する。エッチング槽を傾けて洗浄済み液を測定試料溶液として貯留槽に移す。測定試料溶液を貯留槽から分析機器に試料溶液導入チューブ8を用いて供給する。
請求項（抜粋）：
試料片をエッチング液によってエッチングするエッチング槽と、前記エッチング終了後前記エッチング槽から測定試料溶液を受ける貯留槽とを有し、該貯留槽から前記測定試料溶液を分析機器に供給するようにしたことを特徴とする元素分析用エッチング装置。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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ウエハの表面分析方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-114228
出願人：コマツ電子金属株式会社
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