デバイスの製造装置及び製造方法、デバイスの製造装置の駆動方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上柳雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-043973
公開番号（公開出願番号）：特開2003-237060
出願日： 2002年02月20日
公開日（公表日）： 2003年08月26日
要約：

【要約】【課題】デバイスを液滴吐出装置を用いて製造する際、所定量の液滴を安定吐出して精度良くデバイスを製造できるデバイスの製造装置を提供する。【解決手段】圧力発生室3は、周期THのヘルムホルツ共振周波数を有する。駆動信号は、圧力発生室3を膨張させるための第1の信号要素と、膨張状態にある圧力発生室3を収縮させるための第2の信号要素と、液滴吐出後に圧力発生室3を第1の信号要素が出力される前の状態まで膨張させる第3の信号要素とを有する。第1の信号要素の出力開始時から第2の信号要素の出力開始時までの経過時間、及び第2の信号要素の出力開始時から第3の信号要素の出力開始時までの経過時間は周期THと実質的に等しく、第1の信号要素の振幅と第3の信号要素の振幅との和は第2の信号要素の振幅と実質的に等しくなるように設定される。

請求項（抜粋）：

内部容積が可変であり周期THのヘルムホルツ共振周波数を有する圧力発生室を備えた液滴吐出装置を有するデバイスの製造装置において、前記圧力発生室内部に接続するノズル開口と、前記圧力発生室を膨張及び収縮させる駆動装置と、前記駆動装置に対して所定の駆動信号を出力する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記圧力発生室を膨張させるための第1の信号要素と、膨張状態にある前記圧力発生室を収縮させて該圧力発生室内部にある液体材料を液滴として前記ノズル開口から吐出させるための第2の信号要素と、前記液滴吐出後に前記圧力発生室を前記第1の信号要素が出力される前の状態まで膨張させる第3の信号要素とを出力し、前記第1の信号要素の出力開始時から前記第2の信号要素の出力開始時までの経過時間を、前記周期THと実質的に等しくなるように設定するとともに、前記第2の信号要素の出力開始時から前記第3の信号要素の出力開始時までの経過時間を、前記周期THと実質的に等しくなるように設定し、前記第1の信号要素の振幅と前記第3の信号要素の振幅との和を、前記第2の信号要素の振幅と実質的に等しくなるように設定することを特徴とするデバイスの製造装置。

IPC (9件)：

B41J 2/01 , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , G02B 5/20 101 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1335 505 , G09F 9/00 338

FI (8件)：

B05C 5/00 101 , B05D 1/26 Z , G02B 5/20 101 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1335 505 , G09F 9/00 338 , B41J 3/04 101 Z , B41J 3/04 103 A

Fターム (51件)：

2C056EC07 , 2C056EC37 , 2C056EC42 , 2C056FA04 , 2C056FA15 , 2C056FB01 , 2C057AJ10 , 2C057AM17 , 2C057AN07 , 2C057AR16 , 2C057BA03 , 2C057BA14 , 2H048BA64 , 2H048BB42 , 2H088FA18 , 2H088HA08 , 2H088HA12 , 2H088MA04 , 2H091FA02Y , 2H091FC29 , 2H091GA13 , 2H091LA12 , 2H091LA18 , 4D075AC06 , 4D075AC09 , 4D075AC91 , 4D075CA47 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DB48 , 4D075DB53 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4D075EA21 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB02 , 4F041BA10 , 4F041BA13 , 4F041BA22 , 4F041BA35 , 5G435AA06 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435BB12 , 5G435GG12 , 5G435KK10 , 5G435LL07 , 5G435LL08 , 5G435LL10

引用特許：

審査官引用 (1件)

液体噴射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-364937 出願人：セイコーエプソン株式会社

前のページに戻る