特許

J-GLOBAL ID：200903036253811692

荷電粒子ビーム装置における収差補正装置

発明者： 宇野 忍
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (2件)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-364622
公開番号（公開出願番号）：特開2004-199912
出願日： 2002年12月17日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

【課題】僅かな作動距離の変化によっても、複雑な収差補正の再補正を行うことなく、プローブ径をほぼ一定とすることができる荷電粒子ビーム装置の収差補正装置を実現する。【解決手段】制御部19は対物レンズ7の励磁が変化された場合には、その変化量に応じてメモリー30からその変化量に応じた、例えば補正電圧値を読み出し、この補正電圧値に基づき、対応する極子に印加される電圧を補正する。したがって、対物レンズ7の励磁が変化しても、試料面20に照射される電子ビームのプローブ径は、常に小さいプローブ径が維持されることになる。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビーム光学系内部に配置された収差補正装置であって、4段の静電型4極子と、4段の静電型4極子の中央の2段の静電型4極子の電位分布と相似な磁位分布を重畳させる2段の磁場型4極子と、収差補正装置の後段に設けられた対物レンズと、荷電粒子ビームの光路の一部に設けられた対物絞りと、加速電圧や作動距離を変更する操作部と、前記4段の静電4極子のそれぞれに電圧を供給する電源と、2段の磁場型4極子を励磁する電源と、対物レンズの電源と、操作部の操作または設定に基づいて前記3種類の電源を制御する制御部と、作動距離の変化に基づいて対物レンズの強度を変化させた場合、収差を補正するための対物レンズの強度の変化量に応じた各極子の電圧値を記憶したメモリーを備え、制御部は対物レンズの強度の変化に応じてメモリーから対応する各極子の補正電圧値を読み出し、この電圧値に応じて各極子の電源を制御し、作動距離の変化に伴う対物レンズの強度変化による荷電粒子ビームのプローブ径をほぼ一定に維持するようにしたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置における収差補正装置。

IPC (3件)：

H01J37/153 ,  H01J37/12 ,  H01J37/14

FI (3件)：

H01J37/153 B ,  H01J37/12 ,  H01J37/14

Fターム (3件)：

5C033CC02 ,  5C033HH05 ,  5C033HH06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-289035
  
• 粒子光学的装置の動作方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-525387   出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
• 特開平3-289035
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• "Correction of spherical and chromatic aberration in a low voltage SEM"