特許

J-GLOBAL ID：200903036276912038

ボール搭載装置およびその制御方法

発明者： 根橋 徹 ,  富田 忠治
出願人/特許権者： アスリートFA株式会社
代理人 (1件)： 今井 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-172960
公開番号（公開出願番号）：特開2008-004775
出願日： 2006年06月22日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：

【課題】平板状のマスクを用いて、マスクと基板との間隔を一定に保つことが可能なボール搭載装置を提供する。【解決手段】ボール搭載装置1は、導電性ボールBが充填される複数の孔21を備えた、磁性体または磁性体を含む材料からなるマスク20を介して、基板100の上面100aの所定の位置に導電性ボールBを配置する。ボール搭載装置1は、マスク20の上で導電性ボールBを移動させるためのヘッド30であって、マスク20に対して磁力により吸着した状態で移動する吸着部34を備えたヘッド30と、吸着部34と基板100の上面100aとの間隔が一定になるようにヘッド30を移動させる移動装置40とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

微小ボールが充填される複数の孔を備えた、磁性体または磁性体を含む材料からなるマスクを介して、基板の一方の面の所定の位置に微小ボールを配置するためのボール搭載装置であって、 前記マスクの上で微小ボールを移動させるためのヘッドであって、前記マスクに対して磁力により吸着した状態で移動する吸着部を備えたヘッドと、 前記吸着部と前記基板の一方の面との間隔が一定になるように前記ヘッドを移動させる移動装置とを有する、ボール搭載装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 ,  H05K 3/34

FI (2件)：

H01L21/92 604H ,  H05K3/34 505A

Fターム (5件)：

5E319AC01 ,  5E319BB04 ,  5E319CD04 ,  5E319CD26 ,  5E319GG15

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 導電性ボールの配列用マスクおよびそれを用いた配列装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-182245   出願人：日立金属株式会社