複数光束の軸調整方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川野宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-385536
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185529
出願日： 2001年12月19日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【目的】光源からの単色光束をコーナーキューブ等の反射光学部材を用いて反射させ、干渉面上においてヌル縞が形成されるまで光学系と光束との相対的な軸調整を行なう方法により、複数光束の軸調整を容易かつ高精度に行なえるようにする。【解決手段】干渉光学系5内のレンズ載置台53にコーナーキューブ10を載置し、第1の単色光束を干渉光学系5内に入力し、基準面51で反射する反射光束と、透過してコーナーキューブ10から反射する透過光束との干渉縞がヌル縞となるまで、干渉光学系5の軸L3の傾きを調整する。次に、干渉光学系5は固定したまま、第1の単色光束より切替えた第2の単色光束を干渉光学系5内に入力し、同様にヌル縞が形成されるまで、第2の光束の軸L2の傾きを調整して、第1の単色光束の軸L1と第2の光束の軸L2とを互いに略平行にする。

請求項（抜粋）：

相異なる位置に配置された複数の光源から射出され各々が平行光束とされた複数の単色光束を、該複数の単色光束の各軸が互いに略平行となるよう調整して、1つの光束導入開口を持つ光学系に任意にかつ選択的に導入する方法において、入射された平行光束を反射光束と透過光束とに分割する基準面を有し、前記光束導入開口に導入される前記単色光束の軸上の所定位置に、該基準面の傾きを調整可能に配置される平面基準板と、前記基準面を透過した前記透過光束が入射される位置に配置され、入射された該透過光束を該入射方向と略平行となるように反射させる反射光学部材とを用いて、前記複数の単色光束のうちの第1の単色光束を、前記平面基準板を経由して前記反射光学部材に入射させ、前記基準面で反射された光束と、前記反射光学部材から反射された反射光束とにより形成される第1の干渉縞を観察しながら、該第1の干渉縞の状態が基準干渉縞状態となるよう前記第1の単色光束および前記平面基準板の傾きを相対的に調整し、次に、前記第1の単色光束の軸に対する前記平面基準板の傾きは固定し、前記第1の単色光束に代えて第2の単色光束を前記平面基準板を経由して前記反射光学部材に入射させ、前記基準面で反射された光束と、前記反射光学部材から反射された光束とにより形成される第2の干渉縞を観察しながら、該第2の干渉縞の状態が前記基準干渉縞状態に相当した状態となるよう前記第2の単色光束の軸の傾きを調整することにより、前記第1および第2の単色光束の軸を互いに略平行にすることを特徴とする複数光束の軸調整方法。

IPC (3件)：

G01M 11/00 , G01B 11/26 , G11B 7/22

FI (3件)：

G01M 11/00 T , G01B 11/26 G , G11B 7/22

Fターム (28件)：

2F065AA31 , 2F065BB22 , 2F065BB25 , 2F065CC21 , 2F065DD02 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF51 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065GG22 , 2F065GG23 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL09 , 2F065LL12 , 2F065LL17 , 2F065LL37 , 2F065PP12 , 2F065TT08 , 2G086EE12 , 5D119AA38 , 5D119AA41 , 5D119PA04 , 5D789AA38 , 5D789AA41 , 5D789PA04

引用特許：

出願人引用 (4件)

波面形状測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-079873 出願人：富士写真光機株式会社
特開平2-249938
特開平4-084704

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