特許
J-GLOBAL ID：200903036287528698
硬X線に曝露される多層体用の保護層
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 白江 克則
, 吉田 裕
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-560934
公開番号（公開出願番号）：特表2005-515448
出願日： 2002年10月31日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
X線回折用の光学素子であり、該素子が、基板4と、基板に付加された回折構造体6と、保護層14とを含み、該回折構造体が、基板とは反対の方向を向いた外表面を含み、かつX線回折能力を有し、前記保護層が前記外表面に付加されている。
請求項（抜粋）：
X線を回折するための光学素子において、
基板と、
前記基板とは反対方向を向いた外表面を含み、かつX線を回折する能力を有する、前記基板に付加された回折構造体と、
前記外表面に付加された保護層とを含む、X線を回折するための光学素子。
IPC (1件)：
FI (3件)：
G21K1/06 B
, G21K1/06 C
, G21K1/06 M
