特許

J-GLOBAL ID：200903036299421490

荷電粒子ビーム照射装置

発明者： 藤井 祐介 ,  柳澤 正樹
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-163752
公開番号（公開出願番号）：特開2009-002786
出願日： 2007年06月21日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：

【課題】製作の容易なリッジフィルタを有する荷電粒子ビーム照射装置を提供する。【解決手段】荷電粒子ビーム照射装置は、荷電粒子ビーム発生装置と、照射野形成装置とを有する。照射野形成装置がビームのエネルギー分布を拡大するエネルギー分布拡大装置であるリッジフィルタ24を有する。リッジフィルタ24のリッジフィルタ要素32は、ビームの上流側の面とビーム下流側の面において、共に階段状の構造を備える。そして、階段状の構造は、ビームの上流側の面と前記ビーム下流側の面において対称である。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビーム発生装置と、荷電粒子照射装置とを有し、前記荷電粒子照射装置は、前記ビームのエネルギー分布を拡大するエネルギー分布拡大装置を有する荷電粒子ビーム照射装置において、 前記エネルギー分布拡大装置は、前記ビームの上流側の面と前記ビーム下流側の面において、共に階段状の構造を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム照射装置。

IPC (3件)：

G21K 3/00 ,  G21K 5/04 ,  A61N 5/10

FI (6件)：

G21K3/00 S ,  G21K5/04 A ,  G21K3/00 Y ,  A61N5/10 N ,  A61N5/10 H ,  G21K5/04 D

Fターム (5件)：

4C082AA01 ,  4C082AC04 ,  4C082AE01 ,  4C082AG33 ,  4C082AG42

引用特許：

出願人引用 (1件)

• リッジフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-011728   出願人：株式会社東芝