粒子-光学装置の物体像形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-209829
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153408
出願日： 1994年09月02日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【目的】粒子-光学装置の所望の像をより簡単に復元する。【構成】粒子-光学装置は、この粒子-光学装置の光学軸線(36)によって移動する粒子を放出する粒子源(1)と、粒子-光学装置によって結像すべき物体を光学軸線(36)の区域に配置する試料支持体(13)と、結像すべき物体の像を形成する結像レンズ系(8,14,18)と、この結像レンズ系(8,14,18)によって生じた像を記録担体に記録する記録装置(18,28,27)と、結像レンズ系(8,14,18)の励磁を制御するようにした制御装置(15)とを具える。制御装置(15)は、値が全デフォーカシング範囲に亘って同一の符号を有する予め決められた時間依存性の振動関数に一致して結像レンズ系(8,14,18)を励磁するようにした。

請求項（抜粋）：

複数の連続的なサブ像を形成し、これらのサブ像それぞれに対して結像レンズ系の種々のデフォーカシング調節を利用し、このようにして得られた前記サブ像それぞれに対して、デフォーカシングの関数として振動関数に依存する重み付ファクタを割り当て、前記重み付ファクタが乗算された前記サブ像を加算することにより、前記結像レンズ系によって形成された前記複数のサブ像により粒子-光学装置の物体像を形成するに当たり、前記振動関数の値が全デフォーカシング範囲に亘って同一の符号を有することを特徴とする粒子-光学装置の物体像形成方法。

IPC (3件)：

H01J 37/22 501 , H01J 37/141 , H01J 37/21

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-233150
透過型電子顕微鏡の撮影装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-020984 出願人：日本電子株式会社
特開昭57-065659

審査官引用 (3件)

特開平4-233150
透過型電子顕微鏡の撮影装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-020984 出願人：日本電子株式会社
特開昭57-065659

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