特許
J-GLOBAL ID：200903036363367224
クライオポンプ及びクライオポンプの再生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津田 直久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-163966
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014133
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：
【要約】【目的】全体の再生時間を従来に比べて短くでき、しかも、再生完了の確認を簡単に行えるようにする。【構成】パージガスの導入工程(a)時、クライオパネル11,12の温度ステージが設定温度以上になったとき、パージガスの導入工程(a)から粗引きポンプ7による排出工程(b)に移行させる再生処理コントローラ4を設けた。粗引きポンプ7による排出工程(b)で、ポンプケーシング1内の圧力が第1基準圧力(P1)から第2基準圧力(P2)まで低下するのに要する時間(t1)が、所定値以下となったとき、再生処理を完了する完了手段を設けた。
請求項（抜粋）：
クライオパネル(11,12)を配設したポンプケーシング(1)内を、パージガスの導入と粗引きポンプ(7)による排出とにより再生するクライオポンプにおいて、クライオパネル(11,12)の温度ステージが水分子が気化する温度以上になったとき、パージガスの導入工程(a)から粗引きポンプ(7)による排出工程(b)に移行させる再生処理コントローラ(4)を設けていることを特徴とするクライオポンプ。
引用特許：
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