特許
J-GLOBAL ID：200903036384012175
セラミックスグリーンシートの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285084
公開番号（公開出願番号）：特開2001-106579
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 セラミックスグリーンシートの製造積層、焼成することにより、優れた物性を有するセラミックス積層基板の製造方法の提供。【解決手段】 セラミックス粉末を乾式粉砕し、球相当径Rs値を0.01≦Rs≦0.5〔ただし、式中、Rs(μm)は6/ρCS(ただし、式中のρCは、セラミックス粉末の真密度(g/cm3)を、Sはセラミックス粉末のBET比表面積値(m2/g)を示す。)を意味する〕する工程と、上記乾式粉砕した粉末を250°C〜1000°Cの温度で加熱処理し、式X’=R’m/Rsで表される平均凝集度X’〔R’mは、加熱処理後レーザー散乱法にて測定したセラミックス粉末のメジアン径(μm)を意味し、Rs(μm)は上記の同じ意味を有す〕を2.5〜15の範囲内に調整し、上記加熱処理した粉末に、有機成分が容積比でセラミックスグリーンシートの20〜55%を占め、有機成分と所用量の溶剤とを混合する。
請求項（抜粋）：
セラミックス粉末を乾式粉砕し、球相当径Rs値を0.01≦Rs≦0.5〔ただし、式中、Rs(μm)は6/ρCS(ただし、式中のρCは、セラミックス粉末の真密度(g/cm3)を、Sはセラミックス粉末のBET比表面積値(m2/g)を示す。)を意味する〕とする工程と、上記乾式粉砕した粉末を250°C〜1000°Cの温度で加熱処理し、下式で表される平均凝集度X’X’=R’m/Rs〔ただし、R’mは加熱処理後レーザー散乱法により測定されたセラミックス粉末のメジアン径(μm)を意味し、Rs(μm)は上記の同じ意味を有する〕を2.5〜15の範囲内となるように調整する工程と、上記加熱処理した粉末に、有機成分が容積比でセラミックスグリーンシートの20〜55%を占め、セラミックスグリーンシートの空隙率が5〜25%を満たす量の有機成分と所用量の溶剤とを混合して、セラミックススラリーを調製する工程と、および同セラミックススラリーを用いて、セラミックスグリーンシートを成形する工程と、を含むことを特徴とするセラミックスグリーンシートの製造方法。
FI (2件)：
C04B 35/00 D
, C04B 35/00 E
4G030AA06
, 4G030AA07
, 4G030AA08
, 4G030AA10
, 4G030AA11
, 4G030AA12
, 4G030AA14
, 4G030AA16
, 4G030AA17
, 4G030AA36
, 4G030AA37
, 4G030AA40
, 4G030BA12
, 4G030CA08
, 4G030GA03
, 4G030GA08
, 4G030GA11
, 4G030GA14
, 4G030GA20
, 4G030PA22
