特許
J-GLOBAL ID:200903036385296231

窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 波多野 久 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-298360
公開番号(公開出願番号):特開平8-157261
出願日: 1994年12月01日
公開日(公表日): 1996年06月18日
要約:
【要約】【目的】特に1650°C以下の低温度で焼結して形成した場合であっても、AlN焼結体本来の高熱伝導性を維持するとともに、従来のAlN焼結体と同等以上の緻密さを有し、さらに耐食性と機械的強度とを改善したAlN焼結体およびその製造方法を提供する。【構成】1650°C以下で低温焼成して成る窒化アルミニウム焼結体であり、周期律表IIIa族元素から選択される少なくとも1種の元素の酸化物を0.5〜7重量%と、酸化カルシウムを0.5〜3重量%と、酸化アルミニウムを1.5重量%以下と、ガラスフリットを0.2〜1重量%と、酸化マンガン,酸化クロム,酸化ジルコニウム,酸化ストロンチウムおよび酸化チタンから選択される少なくとも1種を0.5重量%以下と、タングステンを酸化物換算で1重量%以下と、残部を構成する窒化アルミニウムとから成ることを特徴とする。また酸化カルシウムおよびタングステン酸化物に代えてタングステン酸カルシウムを1〜3重量%配合してもよい。
請求項(抜粋):
1650°C以下で低温焼成して成る窒化アルミニウム焼結体であり、周期律表IIIa族元素から選択される少なくとも1種の元素の酸化物を0.5〜7重量%と、酸化カルシウムを0.5〜3重量%と、酸化アルミニウムを1.5重量%以下と、ガラスフリットを0.2〜1重量%と、酸化マンガン,酸化クロム,酸化ジルコニウム,酸化ストロンチウムおよび酸化チタンから選択される少なくとも1種を0.5重量%以下と、タングステンを酸化物換算で1重量%以下と、残部を構成する窒化アルミニウムとから成ることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
引用特許:
審査官引用 (5件)
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