特許

J-GLOBAL ID：200903036398117158

反射型回折格子およびその製造方法

発明者： 平澤 栄司
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (4件)： 小林 久夫 ,  佐々木 宗治 ,  木村 三朗 ,  大村 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-353986
公開番号（公開出願番号）：特開2005-121730
出願日： 2003年10月14日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】 反射型回折格子の製造工程及び時間を削減し併せて品質向上をはかる。【解決手段】 金属ガラス1をそのガラス転移点温度以上に加熱する加熱工程と、加熱された金属ガラス1を所定の凹凸形状が形成された転写用金型20で押圧してその凹凸形状を金属ガラス1に転写する転写工程と、金属ガラス1をそのガラス転移点温度より低い温度に冷却し転写用金型20の押圧を解除して金型20を金属ガラス1から引き離す離型工程と、転写用金型20から引き離された金属ガラス1を常温まで冷却する冷却工程とを備える。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

金属ガラスをそのガラス転移点温度以上に加熱する加熱工程と、 加熱された前記金属ガラスを所定の凹凸形状が形成された金型で押圧して前記凹凸形状を前記金属ガラスに転写する転写工程と、 前記金属ガラスをそのガラス転移点温度より低い温度に冷却し前記金型の押圧を解除して前記金型を前記金属ガラスから引き離す離型工程と、 前記金型から引き離された前記金属ガラスを常温まで冷却する冷却工程と、 を備えたことを特徴とする金属ガラス製反射型回折格子の製造方法。

IPC (2件)：

G02B5/18 ,  C23F4/00

FI (2件)：

G02B5/18 ,  C23F4/00 A

Fターム (9件)：

2H049AA07 ,  2H049AA37 ,  2H049AA40 ,  2H049AA46 ,  4K057DA11 ,  4K057DB06 ,  4K057DD04 ,  4K057DN03 ,  4K057DN10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 反射型回折格子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-166075   出願人：キヤノン株式会社