特許
J-GLOBAL ID：200903036429995850
干渉式膜厚計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122020
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311708
出願日： 1997年05月13日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】ウェーハ等の基板上に形成された薄膜の膜厚がミクロン、サブミクロンのオーダーの範囲で複数存在している場合にも、精度良くこれらの膜厚を同時に測定することができ、膜厚分布を測定することができる干渉式膜厚計を提供する。【解決手段】ウェーハ50のシリコン基板上に形成された複数の膜厚を有する薄膜に光源10から光を照射し、薄膜の前面と後面で反射した干渉光を分光プリズム16により各波長の光に分光する。そして、この分光した各波長の光強度をディテクター18により電気信号に光電変換し、干渉光の光強度分布を検出する。次に、この干渉光の光強度分布をFFT20により周波数成分にフーリエ変換し、その周波数成分の分布に基づいて、フィルター22により各膜厚による干渉光の光強度分布の周波数帯域を選出する。そして、この選出した各周波数帯域毎に周波数成分を逆FFT24により光強度分布に逆フーリエ変換し、この光強度分布からフィッティング26により膜厚を求める。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された薄膜の複数の膜厚を測定する干渉式膜厚計であって、前記ウェーハの薄膜に光を照射する光照射手段と、前記ウェーハの薄膜の前面で反射した光と、前記薄膜の裏面で反射した光の干渉光を各波長に分光する分光手段と、前記分光手段によって分光された各波長の光強度を電気信号に光電変換し、前記干渉光の波長に対する光強度分布を検出する光電変換手段と、前記光電手段によって検出した光強度分布を周波数成分にフーリエ変換するフーリエ変換手段と、前記フーリエ変換手段によって得られた周波数成分の分布に基づいて各膜厚による干渉光の光強度分布の周波数帯域を選出し、該選出した周波数帯域毎に前記周波数成分を抽出するフィルタ手段と、前記フィルタ手段によって前記周波数帯域毎に抽出された周波数成分を、前記周波数帯域毎に光強度分布に逆フーリエ変換する逆フーリエ変換手段と、前記逆フーリエ変換手段によって得られた各周波数帯域毎の光強度分布に基づいて各周波数帯域毎の光強度分布が示す膜厚を求め、前記ウェーハの薄膜の複数の膜厚を求める膜厚算出手段と、からなることを特徴とする干渉式膜厚計。
引用特許：
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