特許

J-GLOBAL ID：200903036436593953

圧電体素子及び該素子を備えた液体吐出ヘッド

発明者： 福井 哲朗 ,  青木 活水 ,  松田 堅義
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 宮崎 昭夫 ,  石橋 政幸 ,  岩田 慎一 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-230574
公開番号（公開出願番号）：特開2006-080500
出願日： 2005年08月09日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：

【課題】成膜温度を低温に設定出来、膜中の応力を低減した、特性に優れた圧電体素子、インクジェットヘッドを得る。【解決手段】圧電体層と該圧電体層を挟持する一対の電極層とを含む圧電体素子であって、Siの(100)面上に、(110)面に優先配向した少なくとも三つの層が積層されており、前記少なくとも三つの層は前記圧電体層と前記一対の電極層の一方の層とを含むことを特徴とする圧電体素子。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

圧電体層と該圧電体層を挟持する一対の電極層とを含む圧電体素子であって、 Siの(100)面上に、(110)面に優先配向した少なくとも三つの層が積層されており、前記少なくとも三つの層は前記圧電体層と前記一対の電極層の一方の層とを含むことを特徴とする圧電体素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H02N 2/00

FI (8件)：

H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A ,  H02N2/00 B

Fターム (7件)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG47 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 強誘電体素子、不揮発性強誘電体メモリ素子、インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェットプリンタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-253480   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電アクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-376400   出願人：セイコーエプソン株式会社