特許

J-GLOBAL ID：200903036468993597

塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装置および方法

発明者： 池内 秀樹 ,  安田 登志夫
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-216941
公開番号（公開出願番号）：特開2000-048716
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 基材、とくにプラズマディスプレイパネルの隔壁のように、一定の凹凸状のパターンが形成された基材の複数の凹部に、複数の吐出孔を有するノズルから所定の塗液を塗布するに際し、ノズルの吐出孔の孔径精度あるいは孔長精度を極限まで突き詰めることなく、容易にかつ安価に各凹部への塗布量を均一化し、塗液が塗布された基材の輝度むらを抑制して高生産性と高品質を可能とする。【解決手段】 基材を固定するテーブルと、基材に対面して設けられた複数の吐出孔を有するノズルと、ノズルに塗液を供給する塗液供給手段と、テーブルとノズルを3次元的に相対移動させる移動手段とを備えた装置において、ノズルは塗布方向に直角な方向に配置された吐出孔を塗布方向に少なくとも2列有し、かつ、各列は同一ピッチで配置された互いに異なる数の吐出孔を有し、さらに、塗液供給手段は吐出孔の列数に応じた数設けられている塗液の塗布装置、および塗布方法、並びにそれを用いたプラズマディスプレイの製造装置および方法。

請求項（抜粋）：

基材を固定するテーブルと、前記基材に対面して設けられた複数の吐出孔を有するノズルと、前記ノズルに塗液を供給する塗液供給手段と、前記テーブルとノズルを3次元的に相対移動させる移動手段とを備えた基材への塗液の塗布装置において、前記ノズルは塗布方向に直角な方向に配置された吐出孔を塗布方向に少なくとも2列有し、かつ、各列は同一ピッチで配置された互いに異なる数の吐出孔を有し、さらに、前記塗液供給手段は吐出孔の列数に応じた数設けられていることを特徴とする塗液の塗布装置。

IPC (3件)：

H01J 9/227 ,  B05C 5/00 101 ,  H01J 17/04

FI (3件)：

H01J 9/227 E ,  B05C 5/00 101 ,  H01J 17/04

Fターム (9件)：

4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA34 ,  5C028FF16 ,  5C028HH14 ,  5C040DD13 ,  5C040DD17

引用特許：

審査官引用 (5件)

• カラーフイルタの製造方法及び製造装置及びカラーフイルタ及び液晶表示装置及びこの液晶表示装置を備えた装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-057224   出願人：キヤノン株式会社
• カラーフイルタの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-304539   出願人：東洋合成工業株式会社
• プラズマディスプレイパネルの製造方法、プラズマディスプレイパネル及び表示デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-253749   出願人：松下電器産業株式会社
• プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-087177   出願人：東レ株式会社
• 凹凸基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装置および方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-060448   出願人：東レ株式会社