特許

J-GLOBAL ID：200903036470766506

サンプルを調査する装置及び方法

発明者： コール,ブライアン,エドワード ,  アーノン,ドナルド,ドミニク ,  クラフ,ジュリアン
出願人/特許権者： テラビュー リミテッド
代理人 (4件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重 ,  中村 雅文
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-557984
公開番号（公開出願番号）：特表2004-520583
出願日： 2002年01月16日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

サンプルを調査する装置であって、放射のビームの供給源と、画像化されるサンプルにより反射された又は透過された放射のビームを検出する検出器と、供給源と検出器の間でビームを操作する光学サブシステムと、サンプルをわたりビームを走査するために、供給源と検出器に関する第1の移動軸に沿って光学サブシステムを移動する手段と、を有し、供給源と検出器はサブシステムの反対側にあり、供給源からのビームと反射又は透過されたビームは、各々が、第1の移動の方向に平行な方向にサブシステムに入り且つ出る。装置は、光学サブシステムの移動中に、放射の2つのビームの相対位相を維持するのにも適する。

請求項（抜粋）：

サンプルを調査する装置であって、 放射のビームの供給源と、 サンプルにより反射された又は通して透過された放射のビームを検出する検出器と、 供給源と検出器の間でビームを操作する光学サブシステムと、 サンプルをわたりビームを走査するために、サンプルに関する第1の移動軸に沿って光学サブシステムを移動する手段と、を有し、 供給源からのビームは、第1の移動軸に平行な方向にサブシステムの1つの側でサブシステムに入り、反射又は透過されたビームは、第1の移動軸に平行な方向にサブシステムの反対の側でサブシステムから出る、サンプルを調査する装置。

IPC (2件)：

G01N21/35 ,  G01N21/27

FI (2件)：

G01N21/35 Z ,  G01N21/27 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薄膜厚測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-299056   出願人：ノバ・メジャリング・インストルメンツ・リミテッド