特許
J-GLOBAL ID:200903036507786065

半導体パッケ-ジ用部材,半導体パッケ-ジ及び半導体パッケ-ジ製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 笹島 富二雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-291005
公開番号(公開出願番号):特開2000-124356
出願日: 1999年10月13日
公開日(公表日): 2000年04月28日
要約:
【要約】【課題】チップパッドに外部端子を簡便に接続し得る半導体パッケージ用部材と、これを利用してパッケージサイズをチップサイズに最小化し得る半導体パッケージ及びその製造方法を提供する。【解決手段】ポリイミド膜24の裏面にチップパッド接着部26と外部端子接着部27とを有する金属配線25を形成し、チップパッド接着部26及び外部端子接着部27が露出されるように、ポリイミド膜24に第1開口部24a及び第2開口部24bを開口させる。そして、チップパッド接着部26に半導体チップ21上に形成されたチップパッド22を接着し、更に、第1開口部24aに充填材を充填する一方、第2開口部24bに露出された外部端子接着部27上にソルダーボール32を接着して、半導体パッケージを構成する。
請求項(抜粋):
絶縁フィルムと、該絶縁フィルムの裏面に形成され、チップパッド接着部と外部端子接着部とを有する導電配線パターンと、該導電配線パターンのチップパッド接着部が露出されるように、前記絶縁フィルムに開口された第1開口部と、前記導電配線パターンの外部端子接着部が露出されるように、前記絶縁フィルムに開口された第2開口部と、から構成されたことを特徴とする半導体パッケージ用部材。
IPC (4件):
H01L 23/12 ,  H01L 21/56 ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31
FI (3件):
H01L 23/12 L ,  H01L 21/56 R ,  H01L 23/30 D
引用特許:
審査官引用 (1件)

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