特許
J-GLOBAL ID:200903036603840950

浮遊粒子測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 西村 竜平 ,  佐藤 明子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-162206
公開番号(公開出願番号):特開2007-333409
出願日: 2006年06月12日
公開日(公表日): 2007年12月27日
要約:
【課題】煩雑な演算処理を要せず、流体中の所定の空間断面における浮遊粒子のサイズ、浮遊粒子の数、浮遊粒子の分布を好適に求めることができ、また、流体中の所定の空間断面における浮遊粒子の動きを具体的に把握することができるといった、優れた浮遊粒子測定装置を提供する。【解決手段】浮遊粒子Rを含む流体Tに対して低コヒーレント光B1を照射する低コヒーレント光源1と、低コヒーレント光B1を分離するビームスプリッタ4と、参照光B3と散乱光B5とが干渉する干渉光B6路上に配され、且つそれら参照光B3および散乱光B5によって生じる干渉光B6のスペクトル強度を検出しその干渉画像を得る撮像部6と、撮像部6で得た干渉画像に基づいて、浮遊粒子Rの数量、分布および大きさのうち少なくとも一つを求める演算部7dとを具備してなるようにした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
浮遊粒子を含む流体に対して低コヒーレント光を照射する低コヒーレント光源と、 前記低コヒーレント光源から照射される低コヒーレント光を、透過および反射して前記流体と参照鏡とに向けて分離するビームスプリッタと、 前記ビームスプリッタで分離されたのち前記参照鏡によって反射されてくる参照光と、分離されたのち前記浮遊粒子によって散乱されてくる散乱光とが、干渉する干渉光路上に配され、且つそれら参照光および散乱光によって生じる干渉光のスペクトル強度を検出することでその干渉光の干渉画像を得る撮像部と、 前記撮像部で得た干渉画像に基づいて、前記浮遊粒子の数量、分布および大きさのうち少なくとも一つを求める演算部とを具備してなることを特徴とする浮遊粒子測定装置。
IPC (2件):
G01N 15/02 ,  G01N 15/06
FI (2件):
G01N15/02 A ,  G01N15/06 C
引用特許:
出願人引用 (2件)

前のページに戻る