特許
J-GLOBAL ID:200903036646495610
感放射線性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
久保山 隆
, 中山 亨
, 榎本 雅之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-198291
公開番号(公開出願番号):特開2005-037516
出願日: 2003年07月17日
公開日(公表日): 2005年02月10日
要約:
【課題】貯蔵安定性が良好な、高感度、高解像度でスペーサを形成しうる、高感度のスペーサ形成用感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】バインダー樹脂(A)、エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物(B)および光重合開始剤(C)を含有する感放射線性樹脂組成物において、バインダー樹脂(A)が、一分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物と多価カルボン酸との反応物であるポリカルボン酸樹脂、または一分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物に不飽和モノカルボン酸を反応させ、更に多価カルボン酸無水物とを反応させて得られるポリカルボン酸樹脂であるスペーサ形成用感放射線性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
バインダー樹脂(A)、エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物(B)および光重合開始剤(C)を含有する感放射線性樹脂組成物において、バインダー樹脂(A)が、一分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物と多価カルボン酸との反応物であるポリカルボン酸樹脂、または一分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物に不飽和モノカルボン酸を反応させ、更に多価カルボン酸無水物とを反応させて得られるポリカルボン酸樹脂であるスペーサ形成用感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F7/027
, C08F290/06
, G02F1/1339
FI (3件):
G03F7/027 515
, C08F290/06
, G02F1/1339 500
Fターム (38件):
2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA06
, 2H025AB14
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC74
, 2H025BC83
, 2H025BC85
, 2H025CA00
, 2H025CB43
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H089HA15
, 2H089JA07
, 2H089JA11
, 2H089LA01
, 2H089MA03X
, 2H089NA12
, 2H089NA17
, 2H089PA01
, 2H089QA09
, 2H089QA12
, 2H089QA14
, 2H089QA16
, 4J027AE01
, 4J027AE07
, 4J027BA07
, 4J027BA13
, 4J027BA19
, 4J027BA23
, 4J027BA26
, 4J027BA27
, 4J027CB10
, 4J027CC05
引用特許:
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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