特許

J-GLOBAL ID：200903036684665405

プロセスシミュレーション入力データ設定装置

発明者： 兵頭 敏宏
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-323969
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148400
出願日： 1994年12月02日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】各製造工程毎に最も適したシミュレーションモデルを自動的に設定するようにして、シミュレーション入力データの設定を容易にする。【構成】記憶部1は各シミュレーションモデル適用範囲Aを予め記憶する。読取手段2は各製造工程の2次元プロセスシミュレーションの実行条件データであるプロセスシーケンスデータBを入力し記憶部1に記憶する。モデル選択手段3は記憶部1に記憶したプロセスシーケンスデータBと各シミュレーションモデル適用範囲Aとを比較して各製造工程を2次元プロセスシミュレートするのに最適なシミュレーションモデルを選択し、シミュレーション手段4が2次元プロセスシミュレーションを実行するために必要なプロセスシミュレーション入力データを設定する。

請求項（抜粋）：

記憶部と読取手段とモデル選択手段を有し、記憶部は各シミュレーションモデルの適用範囲を予め記憶し、読取手段は各製造工程の2次元プロセスシミュレーションの実行条件データであるプロセスシーケンスデータを入力し記憶部に記憶し、モデル選択手段は記憶部に記憶したプロセスシーケンスデータと各シミュレーションモデルの適用範囲とを比較して各製造工程を2次元プロセスシミュレートするのに最適なシミュレーションモデルを選択することを特徴とするプロセスシミュレーション入力データ設定装置。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  G06F 17/00 ,  G06F 17/50

FI (2件)：

G06F 15/20 D ,  G06F 15/60 636 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• プロセスシミュレータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-244507   出願人：株式会社日立製作所