圧電共振子

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-150981
公開番号（公開出願番号）：特開2000-341077
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】GHz帯において、スプリアス振動のない圧電共振子を提供する。【解決手段】基体11上に支持膜12を形成し、該支持膜12上に第1電極13と、圧電体14、および第2電極15を順次積層してなり、前記第1電極13と第2電極15とを長尺状構造とし、前記基体11側から見て、これらの電極を交差させた。また、圧電体が強誘電体からなることが望ましく、また、長尺状電極の幅が10μm以下であることが望ましい。

請求項（抜粋）：

振動空間を有する基体と、該基体の表面に前記振動空間を被覆して形成された支持膜と、該支持膜の前記振動空間と反対の面に当接され、圧電体を第1電極と第2電極とで挟持した振動体とを具備する圧電共振子であって、前記第1電極および前記第2電極は、それぞれ略平行に配列した複数の長尺状電極を電気的に接続して形成され、かつ、前記第1電極の長尺状電極と前記第2電極の長尺状電極とは、前記基体側から見て交差していることを特徴とする圧電共振子。

Fターム (15件)：

5J108AA01 , 5J108AA07 , 5J108BB04 , 5J108CC01 , 5J108CC04 , 5J108DD01 , 5J108DD06 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108FF02 , 5J108FF04 , 5J108KK01 , 5J108KK02

引用特許：

審査官引用 (4件)

モノリシック薄膜共振器格子フィルタおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-218108 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
結晶フィルター構造および薄膜バルク弾性波共振器を利用したフィルター
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-138101 出願人：ノキアモービルフォーンズリミテッド
特開昭54-048142

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